真空爐使用維護操作規程，建立真空爐運行記錄和修理檔案，統計運行累積工作時(shí)間，加強真空爐日常維護，掌握設備技術(shù)狀態(tài)變化趨勢，及早發(fā)現故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質(zhì)的維修，并根據真空爐工作負荷和運行狀況，提前有針對性地準備真空爐修理用零部件，真空爐運行維護方案。如真空爐加熱元件的使用壽命長(cháng)短與工作溫度、真空爐內產(chǎn)品介質(zhì)、產(chǎn)品數量及操作情況等許多因素有關(guān)，在每天24小時(shí)加工生產(chǎn)的情況下，真空爐加熱元件和隔熱屏的更換大約每?jì)扇赀M(jìn)行一次．這取決于釬焊工作的類(lèi)型和使用次數。真空爐一般在春秋季節泄漏故障較多，長(cháng)期閑置的真空爐在才次使用時(shí)真空爐泄漏故障比較易發(fā)生。這時(shí)間就必須進(jìn)行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率(在常溫下，關(guān)閉所有真空閥，停止真空系統運轉，1Omin后讀一個(gè)數，1h后再讀一個(gè)數，兩數之差是壓升率的數值)，掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續停機一個(gè)禮拜，要空運轉一次（進(jìn)行烘爐）。

    在真空系統檢漏時(shí)，除臨時(shí)應急維修用真空泥糊堵外，有氦質(zhì)譜檢漏儀可用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行真空檢漏，如沒(méi)氦質(zhì)譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點(diǎn)處，觀(guān)察真空表讀數有無(wú)變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進(jìn)行檢漏。找到漏點(diǎn)以后進(jìn)行維修（一般密封圈老化比較多），定時(shí)檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發(fā)現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個(gè)泵油，應每周檢查一次油位和油的質(zhì)量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學(xué)酸洗的方法清洗。