發(fā)布時間：2019-08-24 | 游覽：7062
| 產(chǎn)品名稱 | 氣體純度 | 氣瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量（Kg） | 保質(zhì)期 |
| C2F6 | 99.999% | DOT47L | DISS716 | 40 | 2年 |
| DOT440L | DISS716 | 460 | 2年 | ||
| TT(20'GP) | DISS716 | 10000 | 2年 | ||
| 備注：可按客戶要求定制包裝規(guī)格 | |||||
六氟乙烷又稱全氟乙烷，是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代后的產(chǎn)物，是鹵代烴（化學(xué)式：C2F6），亦是烴類化合物乙烷所對應(yīng)的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。
六氟乙烷可用于一種具多功能的蝕刻技術(shù)，常見于半導(dǎo)體之生產(chǎn)。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。
包裝容器：規(guī)格齊全，按客戶要求配置。
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