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特氣系統(tǒng)（可燃性、自燃性、毒性、氧化性、腐蝕性特種氣體）壓力試驗(yàn)完成后，應(yīng)進(jìn)行氦檢漏試驗(yàn)，并按要求做好記錄。試驗(yàn)完成后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。同時(shí)，特種氣體系統(tǒng)還需要做particle（顆粒度）、水分（Moisture）、氧分等的測(cè)試。

三項(xiàng)檢測(cè)：

顆粒度測(cè)試，其氣體流量應(yīng)根據(jù)管道直徑確定，測(cè)試氣源的顆粒數(shù)應(yīng)在規(guī)定顆粒粒徑狀態(tài)為零。測(cè)試氣體中大于0.1μm~0.3μm的顆粒數(shù)應(yīng)小于或等于35顆粒

/m3，連續(xù)三次達(dá)標(biāo)為合格。

水分測(cè)試，氣體速度應(yīng)低于設(shè)計(jì)流速的10%，且小于3m/s,測(cè)試氣源的水分應(yīng)小于1ppbv，水分增量應(yīng)小于20ppbv，測(cè)試結(jié)束后，應(yīng)至少保持20min穩(wěn)定在規(guī)定值以下為合格。

特種氣體系統(tǒng)氧分測(cè)試，氣體速度低于設(shè)計(jì)流速的10%，且小于3m/s，試氣源的氧分應(yīng)小于1ppbv，氧分增量應(yīng)小于20ppbv，測(cè)試結(jié)束后，應(yīng)至少保持20min穩(wěn)定在規(guī)定值以下為合格。

三項(xiàng)檢測(cè)完成后，需要提交測(cè)試報(bào)告，且需要用標(biāo)準(zhǔn)格式，詳見(jiàn)附件：

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