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閥門(mén)分配箱（VMB）多用于特種氣體的輸送中。在半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能、IC芯片等生產(chǎn)領(lǐng)域，VMB廣泛的應(yīng)用于諸如磷烷、硼烷、硅烷、硫化氫、硫化氫、乙烯等易燃易爆、毒腐性氣體的分配當(dāng)中。近幾年來(lái)，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng)，電子特種氣體的國(guó)產(chǎn)化已是大勢(shì)所趨。據(jù)了解，我國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展：國(guó)產(chǎn)高純氨改變了國(guó)外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局，高純四氟化碳“有價(jià)無(wú)貨”時(shí)代也宣告結(jié)束，高純氯化氫已成功打開(kāi)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。所以，閥門(mén)分配系統(tǒng)的應(yīng)用會(huì)越來(lái)越廣泛。

設(shè)計(jì)參考：

特氣VMB應(yīng)設(shè)計(jì)進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示裝置；氣體之路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過(guò)濾器、過(guò)流開(kāi)關(guān)；氣體的支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的出口隔離閥；氣體分支路應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的吹掃氣體裝置、輔助抽真空裝置等。

惰性氣體方面，應(yīng)設(shè)置進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示裝置；氣體之路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過(guò)濾器；氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立出口隔離閥門(mén)。

電子氣體，尤其是帶有危險(xiǎn)性的特殊氣體，是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。VMB的引入是特氣一對(duì)多，點(diǎn)對(duì)面分支的核心單元。不但保證了多點(diǎn)用氣，也最大限度的保證了用氣安全。

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