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真空燒結爐正確的操作步驟如下:
1、通電前檢查
通電前,檢查各開(kāi)關(guān)是否處于(關(guān)閉)位置,加熱模式是否為“手動(dòng)”,電源調節是否逆時(shí)針旋轉到底(低)。確認后,按工藝要求的順序啟動(dòng)機械泵和擴散泵。
2、測量爐內真空度
根據真空計的操作,當達到所需的真空度時(shí),可以對其進(jìn)行加熱。
3、抽真空
嚴密關(guān)閉所有真空閥,啟動(dòng)機械泵,正常運行后打開(kāi)通向爐體的低真空閥,提前從爐體中抽出空氣。閥門(mén)應緩慢打開(kāi),以避免機械泵的排氣口噴出油。
4、打開(kāi)真空閥
在對爐體抽真空的同時(shí),打開(kāi)真空閥,對擴散泵進(jìn)行排氣。當真空度達到15Pa時(shí),首先打開(kāi)擴散泵上的冷卻水,然后加熱擴散泵。一般情況下,擴散泵工作約45分鐘后,關(guān)閉通向爐體的真空閥,打開(kāi)真空閥,真空度很快將達到1.33×10-1Pa以上,電爐即可通電加熱。
5、加熱
二次加熱的真空度容易下降,因為放氣較多。此外,由于工件加熱和放氣,真空度也會(huì )下降,所以當真空度下降到1.5Pa時(shí),需要緩慢升溫并停止加熱,當真空度上升到0.5Pa以上時(shí),需要慢慢加熱。當壓力低于20Pa時(shí)擴散泵無(wú)法工作。此外,擴散泵油在真空度過(guò)低時(shí)容易氧化,導致擴散泵故障。
6、手動(dòng)加熱
當爐膛溫度低于200℃時(shí),手動(dòng)升溫,否則溫度控制不準確。在真空狀態(tài)下按下加熱啟動(dòng)按鈕,緩慢調整手動(dòng)電源(順時(shí)針),使電流緩慢上升。禁止超過(guò)1100A的額定電流,爐膛溫度會(huì )隨之升高。1000-2000℃,爐溫可由紅外自動(dòng)控制。
7、冷卻
可以根據預設程序控制溫度,也可以直接關(guān)閉加熱裝置進(jìn)行冷卻。但是,冷卻過(guò)程中不允許停水,否則會(huì )燒壞爐體的密封圈。
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