真空熱壓機是利用真空熱壓燒結工藝，在真空環(huán)境下，對置于限定形狀模具中的松散粉末或對粉末壓坯加熱的同時(shí)對其施加壓力，使材料成型與燒結同時(shí)完成。真空熱壓燒結熱壓時(shí)，粉料處于熱塑性狀態(tài)，形變阻力小，所需成型壓力小。由于加熱、加壓同時(shí)進(jìn)行，有助于粉末顆粒的接觸、擴散與流動(dòng)傳質(zhì)，能降低燒結溫度，縮短燒結時(shí)間，從而抑制晶粒長(cháng)大。熱壓燒結在真空條件下完成，制取的燒結體孔隙率低、致密化程度高、且晶粒細小，產(chǎn)品的機械性能和電學(xué)性能良好。
　　真空熱壓機熱壓燒結致密化過(guò)程：
　　第一階段：孔隙連通，包括燒結初期和中期。壓力使顆粒接觸區發(fā)生塑性屈服；擴大的接觸區出現冪指數蠕變，引起物質(zhì)遷移；原子與空位發(fā)生體積擴散和晶界擴散；位錯也經(jīng)攀移引起晶界滑動(dòng)。燒結體密度迅速提升。
　　第二階段：孔洞孤立
　　亦稱(chēng)燒結末期?？锥次挥诰Ы缣?，且不排除晶內微孔。此時(shí)，第一階段的機制仍舊存在，但蠕變與擴散成為燒結的主要機制，材料收縮緩慢，產(chǎn)品致密化程度高。
　　真空熱壓機熱壓燒結致密化燒結后期閉氣孔壓力增大，抵消了表面張力的作用，晶界擴散作用削弱，而體積擴散速度緩慢，致使后期收縮困難。熱壓可提供外在推動(dòng)力來(lái)補償被抵消的表面張力，促使燒結繼續進(jìn)行。熱壓條件下，固體粉料可能表現出非牛頓型流體性質(zhì)，當剪應力超過(guò)其屈服點(diǎn)時(shí)將出現流動(dòng)，致使傳質(zhì)速度加大，閉氣孔通過(guò)物料的粘性或塑性流動(dòng)得以消除。