真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進(jìn)行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專(zhuān)用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。但是，在日常使用時(shí)，它的應急措施我們一定的了解！
　　一、冷卻水異常
　　1、確認加熱電源已停止。
　　2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時(shí)，應盡快采取應急措施，如能保證水量，請繼續保持真空，如不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻下來(lái)。
　　3、冷卻水發(fā)生異常時(shí)，設備處于停止狀態(tài)，馬上接通緊急用冷卻水。
　　4、在高溫時(shí)，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
　　二、真空燒結爐壓縮空氣的停止
　　1、壓縮空氣異常報警時(shí)，設備處于停止狀態(tài)，應盡快到備用的壓縮機房，讓其恢復工作。
　　2、真空中如壓縮空氣異常報警，且恢復需要較長(cháng)時(shí)間時(shí)，則終止真空，讓設備停下來(lái)。
　　三、停電
　　1、停電時(shí)，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。
　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復時(shí)，重新啟動(dòng)設備，繼續運轉如需要較長(cháng)時(shí)間，則將設備保持原狀。
　　3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復時(shí)，重新啟動(dòng)設備，如果需要較長(cháng)時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來(lái)。
　　四、加熱電源掉電
　　1、水壓低，壓力表報警。
　　2、接地故障。
　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。
　　4、電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
　　五、真空燒結爐真空室壓力惡化
　　1、真空排氣時(shí)間比通常長(cháng)時(shí)，應把設備停下來(lái)進(jìn)行檢查，根據真空室內構造物不同狀態(tài)下放氣的影響，也有導致壓力升高的情況。
　　2、通過(guò)壓力上升測試或者用氦氣檢漏來(lái)確認是漏氣還有放氣的影響。