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真空壓力燒結爐具有熱壓燒結、無(wú)壓燒結、真空燒結、氣氛保護燒結功能,但是在使用中避免不了出現問(wèn)題的,下面我們來(lái)看下使用中常見(jiàn)的問(wèn)題有哪些?具體又是怎么解決的,我們來(lái)看下:
真空壓力燒結爐正常工作時(shí)突然出現現停電故障,應立即打開(kāi)電源控制柜確認是外部停電故障,還是設備內部電源故障。如果是外部停電故障應立即關(guān)閉總電源開(kāi)關(guān),并取下進(jìn)口和出口傳送帶上的硅片。真空壓力燒結爐正常工作時(shí)突然無(wú)冷卻水,設備會(huì )自動(dòng)停止運轉,同時(shí)警報被觸發(fā)。此時(shí)應取下進(jìn)口和出口傳送帶上的硅片,在設備PC上下載冷卻工藝。清潔完傳送帶后設備無(wú)法開(kāi)啟可以真空壓力燒結爐進(jìn)口和出口處的緊急停止開(kāi)關(guān)被按下,拔出緊急停止開(kāi)關(guān)即可解除機械鎖定。
另外真空壓力燒結爐在平時(shí)的使用中要做好檢查的工作,以免在使用時(shí)不能正常地使用。
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