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還原爐是皮江法煉鎂還原工序的關(guān)鍵主體設備,還原爐從爐型選擇到結構設計再到車(chē)間系統配置設計,對其工程建設投資、生產(chǎn)實(shí)用性、能耗指標、工藝技術(shù)指標、生產(chǎn)運行成本等,有著(zhù)重要的影響。
還原爐是生產(chǎn)多晶硅的核心設備,其采用鐘罩式反應器,將混合后的SiHCl3和H2從反應器底部的眾多噴口噴入,SiHCl3和H2反應,非均向成核生成多晶硅沉積在硅芯表面,逐漸長(cháng)大成硅棒,生長(cháng)過(guò)程中硅棒表面溫度1050~1100C。在非均向成核進(jìn)行的同時(shí),SiHCl3和H2也發(fā)生均向成核反應生成無(wú)定型硅粉,反應的程度主要取決于溫度、配比等方面的因素。為避免均向成核產(chǎn)生大量的硅粉,流體采用混流,即噴嘴引入冷物流持續噴向高溫的硅棒表面,避免局部溫度過(guò)高引發(fā)爆米花和大量硅粉的產(chǎn)生,這種模式也決定了還原爐噴口直噴、氣流底進(jìn)底出的現有模式。也正因為此,高溫進(jìn)料(進(jìn)料溫度高會(huì )引起大量硅粉)及平推式反應模型(比如噴口完全側噴、氣流底進(jìn)頂出)都是會(huì )失敗的。
流體力學(xué)模擬是個(gè)復雜的計算過(guò)程,小編為了簡(jiǎn)化說(shuō)明問(wèn)題,把復雜的計算和抽象的模擬舍棄,僅以幾個(gè)氣體射流基本公式來(lái)推理噴口流速的合理取值。
氣體射流是流體力學(xué)基本的模型,當氣體從孔口或管嘴以一定的流速?lài)姵龊?,由于射流為紊流流態(tài),紊流的橫向脈動(dòng)造成射流與周?chē)鷼怏w發(fā)生動(dòng)量交換,從而把相鄰的靜止流體卷吸到射流中來(lái),兩者一起向前運動(dòng),于是射流的過(guò)流斷面沿程不斷擴大,流量不斷增加。
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