真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進(jìn)行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專(zhuān)用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。接著(zhù)跟俺一起看看真空燒結爐遇到以下三種情況可以采取的應急措施。  

一、停電  

    1、停電時(shí)，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。  

    2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復時(shí)，重新啟動(dòng)設備，繼續運轉如需要較長(cháng)時(shí)間，則將設備保持原狀。  

    3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復時(shí)，重新啟動(dòng)設備，如果需要較長(cháng)時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來(lái)。  

二、加熱電源掉電  

    1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。  

    2、接地故障。  

    3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。  

    4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。  

三、充氣氣體停止  

    1、抽真空開(kāi)始前，氣體充入時(shí)間長(cháng)或者無(wú)法充入時(shí)，請確認氣體管路是否被堵塞。  

    2、如氣體管路沒(méi)問(wèn)題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設備要全部停止后再進(jìn)行檢查。  

    3、向真空室內充氣不能停止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。  

    4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會(huì )影響制品質(zhì)量。