通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長(cháng)在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優(yōu)點(diǎn)：首先，藍寶石襯底的生產(chǎn)技術(shù)成熟、器件質(zhì)量較好；其次，藍寶石的穩定性很好，能夠運用在高溫生長(cháng)過(guò)程中；最后，藍寶石的機械強度高，易于處理和清洗。因此，大多數工藝一般都以藍寶石作為襯底材料。

 

  在顯示及電子器件中，藍寶石襯底厚度僅有上百微米，在藍寶石襯底的切割、雙面研磨以及單面研磨、拋光過(guò)程中，盡管部分的加工應力會(huì )在下一道加工工序釋放，但是這種應力釋放是無(wú)序釋放，同時(shí)未釋放的加工應力會(huì )在晶片表面集聚，影響藍寶石晶片的翹曲程度，嚴重的翹曲會(huì )在后道加工過(guò)程產(chǎn)生破片，影響整個(gè)加工循環(huán)的晶片質(zhì)量。

 

  藍寶石襯底晶片加工過(guò)程中，研磨作業(yè)后需要進(jìn)行退火處理，退火前需對襯底進(jìn)行清洗，將清洗干凈后的襯底放入退火爐中進(jìn)行高溫退火，以去除加工過(guò)程中所殘余的應力，并消除殘余應力所引起的襯底形變。

 

  皓越科技針對行業(yè)需求，潛心研發(fā) 有氧和無(wú)氧襯底退火爐設備，以滿(mǎn)足客戶(hù)加工工藝的要求，創(chuàng )造極致的工業(yè)產(chǎn)品。

 

 

藍寶石晶片無(wú)氧退火爐

藍寶石晶片有氧退火爐

 

特點(diǎn)

• 去應力：使藍寶石便于加工，切屑。
• 消除應力集中，避免晶片自動(dòng)開(kāi)裂，以及加工中產(chǎn)生裂紋、爆口等。
• 退火工藝升溫速率不宜過(guò)快，直徑越大，保溫時(shí)間應越長(cháng)；降溫時(shí)間應大于升溫時(shí)間，避免再次產(chǎn)生應力。
• 去色心：使藍寶石更透明，透光更好。
   

 

技術(shù)參數

 

1）無(wú)氧退火爐

 

 

2）有氧退火爐

 

 

典型應用